SEMI E83 - PGV 機械式ドッキング フランジの仕様 -

Abstract

注意: この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。

この仕様は、一貫性を促進することを目的としています。 有人誘導車両 (PGV) と機器の間のインターフェース機能 ロードポート。

この仕様は、 PGV によって使用されるドッキング フランジの固定 (機器) 側。このフランジは 機器のロードポートによって定義される容積内の床に取り付けられる 規格。これらの規格には以下が含まれますが、これらに限定されません。 SEMI E64 ボリューム SEMI E15.1 および SEMI G82 ロード ポート (300 mm 用) および SEMI E154 (450 mm 用) ウェハキャリア）。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様

SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様

SEMI E64 — SEMI E15.1 に準拠した 300 mm カートの仕様 ドッキングインターフェースポート

SEMI E154 — 450 mm のメカニカルインターフェース仕様 ロードポート

SEMI G82 — 300 mm ロードポートの暫定仕様 後工程のフレームカセット用

SEMI G95 — 450 mm のメカニカルインターフェース仕様 バックエンドプロセスにおけるテープフレームカセット用のロードポート

SEMI E162 — 450 mm のメカニカルインターフェース仕様 前開き配送ボックス ロードポート

改訂履歴

SEMI E83-0515 (技術改訂)

SEMI E83-0714 (技術改訂)

SEMI E83-0413 (技術改訂)

SEMI E83-1106 (技術改訂)

SEMI E83-1000 (技術改訂)

SEMI E83-0699 (初公開)

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