SEMI E82 - インターベイ/イントラベイ AMHS SEM (IBSEM) の仕様 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 8 月 18 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1999 年に出版されました。以前は 2012 年 6 月に出版されました。

この規格は、ベイ間およびベイ内の AMHS 輸送機器 (IBSEM) の特定機器モデル (SEM) を確立します。このモデルは、SEMI E30 の基本要件と選択された追加機能に加えて実装される機器の特性と動作で構成されます。この規格の目的は、自動化された (半導体製造やフラット パネル ディスプレイなど) 工場への IBSEM 装置の統合を容易にすることです。この文書は、ファクトリー オートメーション コントローラー (ホスト) から見た IBSEM 機器の運用モデルを定義することでこれを実現します。この定義は、標準のホスト インターフェイスと機器の動作動作 (制御、状態モデル、データ レポート、レポート レベルなど) を提供します。トラフィック管理特性 (キューイング)、キャリア転送用パラレル インターフェイス (SEMI E23)、トランスポート システム コントローラ アーキテクチャ、および転送ユニットの配送など、いくつかのトピックでは、この規格の範囲内にある追加のアクティビティが必要です。

この規格の範囲は、GEM に準拠する SEMI Equipment Communications Standard 2 (SECS-II) ホストによって認識されるベイ間およびベイ内 AMHS トランスポート機器 (OHT、OHS、RGT、AGT、DWC) の使用法と説明に限定されます。モデル (§ 13 で指定)。 SECS 通信リンクを介した機器のビューを定義します。機器の内部動作を定義するものではありません。これには、このクラスのすべての機器の基礎として、特定の転送コマンド状態モデルとトランスポート システム コントローラー状態モデルが含まれています。

この文書は、GEM の基本要件と選択された追加機能 (§ 13 で指定) が IBSEM 機器に実装されていることを前提としています。これは、状態モデル (TSC、転送コマンド、車両および運送業者の状態モデル)、収集イベント、警報文書化、リモート コマンド、データ項目変数、物質移動の分野における GEM 標準要件と機能を拡張します。

SEMI E4 — SEMI 機器通信標準 1 メッセージ転送 (SECS-I)
SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容の仕様 (SECS-II)
SEMI E23 — カセット転送パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM) の仕様
SEMI E32 — 物質移動管理 (MMM)
SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス
SEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様

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