SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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E06300 - SEMI E63 - 300 mm ボックス オープナー/ローダーとツール標準 (BOLTS-M) インターフェイスの仕様
E06400 - SEMI E64 - SEMI E15.1ドッキングインターフェースポートと300mmカートの仕様
E06400 - SEMI E64 - SEMI E15.1 ドッキング インターフェイス ポートへの 300 mm カートの仕様
E06600 - SEMI E66 - マスフローコントローラーによる粒子の寄与を決定するための試験方法
E06600 - SEMI E66 - マスフローコントローラーのパーティクル発生測定のテスト方法
E06700 - SEMI E67 - マスフローコントローラーの信頼性を判断するための試験方法
E06700 - SEMI E67 - マスフロー並行性測定のためのテスト方法
SEMI E67 - マスフロー並行性測定のためのテスト方法 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E06800 - SEMI E68 - マスフローコントローラーのウォームアップ時間を決定するための試験方法
E06900 - SEMI E69 - サーマルマスフローコントローラーの再現性とゼロドリフトを決定するための試験方法
E07000 - SEMI E70 - 工具適応プロセスのガイド
SEMI E70 - 工具適応プロセスのガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E07200 - SEMI E72 - 300 mm 装置の床移動、高さ、重量の仕様ごとのガイド
SEMI E72 - 300 mm 装置の床移動、高さ、重量の仕様ごとのガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E07200 - SEMI E72 - 機器の設置面積、高さ、重量の仕様とガイド
SEMI E72 - 機器の設置面積、高さ、重量の仕様とガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E07300 - SEMI E73 - 真空ポンプインターフェースの仕様 - ドライポンプ
SEMI E73 - 真空ポンプインターフェースの仕様 - ドライポンプ セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E07300 - SEMI E73 - 真空ポンプのインタフェースの仕様 - ドライポンプ
SEMI E73 - 真空ポンプのインタフェースの仕様 - ドライポンプ セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E07400 - SEMI E74 - 真空ポンプインターフェースの仕様 - ターボ分子ポンプ
SEMI E74 - 真空ポンプインターフェースの仕様 - ターボ分子ポンプ セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
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