SEMI E69 - サーマルマスフローコントローラーの再現性とゼロドリフトを決定するための試験方法 -

Abstract

注意:この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。

この文書の目的は、標準化された 熱質量流量の再現性とゼロドリフトを定量化する方法 コントローラー（MFC）。

この文書の目的は、特定のことを示唆することではありません。 テストプログラムですが、テスト時に使用するテスト方法を指定します。 このメソッドでカバーされるパラメータ。ユーザーはこの文書を次の目的で使用する可能性があります。 再現性やゼロなどの重要なパフォーマンス特性をチェックします。 厳密に制御された一連のテスト条件下でのドリフト。

この計算における精度計算の重要性 MFC ユーザーが 1 つの製造からプロセスを移行できるようにする方法です。 ツールを別のツールに移動したり、単一の製造ツール内で MFC を交換したりできます。 プロセス制御を維持します。

この文書では、次の条件と手順について説明します。 サーマル MFC の再現性とゼロドリフトをテストします。のせいで この文書は一般的な性質のものであり、すべてのテスト手順がすべての種類のテストに適用されるわけではありません。 MFC。

この文書はコミュニケーションのための共通の基盤を提供します メーカーとユーザーの間で。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E28 — 質量の圧力仕様に関するガイド フローコントローラー

改訂履歴

SEMI E69-0298 (再承認 0913)

SEMI E69-0298 (再承認 0309)

SEMI E69-0298 (再承認 1103)

SEMI E69-0298 (初公開)

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