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SEMI E67 - マスフローコントローラーの信頼性を判断するための試験方法 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 5 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 2 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1997 年 9 月に出版されました。以前は 2011 年 10 月に出版されました。
この文書では、マスフローコントローラー (MFC) がその耐用年数にわたってメーカーの公表仕様を満たす能力を判断するのに役立つ方法について説明します。テストの結果は、MFC の比較にも役立ちます。
この手順は、半導体ガス システムで使用される MFC に適用されます。
参照されるSEMI規格SEMI C59 — 窒素の仕様
SEMI E17 — マスフローコントローラー過渡特性試験ガイド
SEMI E66 — マスフローコントローラーによる粒子の寄与を決定するための試験方法
SEMI E69 — サーマルマスフローコントローラの再現性とゼロドリフトを判定するための試験方法
SEMI F1 — 高純度ガス配管システムおよびコンポーネントのリーク完全性に関する仕様
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