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SEMI E67 - マスフロー並行性測定のためのテスト方法 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 およびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1997年9月発行。前版は2004年3月発行。
注意: 本書は2011 年に全面改訂されたものです。
この文書で説明する方法は，マスフロー コントローラ（ MFC ： マス フロー コントローラ ）にその寿命メーカーが発表した仕様を満たすだけの機能がしっかりしているかどうかを徹底的に検討する。 比較を行っても有益である。
参照されるSEMI規格SEMI E17 — マスフローコントローラー過渡特性試験のガイドライン
SEMI E66 — マスフローコントローラーによる粒子の寄与を決定するための試験方法
SEMI E69 — 熱質量流量の再現性とゼロドリフトを決定するための試験方法
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