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SEMI E66 - マスフローコントローラーのパーティクル発生測定のテスト方法 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 www.semi.orgで入手可能となる。初版は2003年11月発行。
本テストの目的は，高純度ガスシステムでの使用を意図したマスフローコールにより，粒子クル発生を測定することである。
参照されるSEMI規格SEMI E29 — マスフローコントローラーおよびマスフローメーターの校正に関する用語
SEMI F1 — 高純度ガス配管システムおよびコンポーネントのリーク完全性に関する仕様
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