SEMI E63 - 300 mm ボックス オープナー/ローダーとツール標準 (BOLTS-M) インターフェイスの仕様 -

Abstract

この規格は、Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 5 月 11 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2016 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1997 年に出版されました。以前は 2010 年 11 月に出版されました。

この規格は、プロセスまたは計測ツールの主要部分と、300 mm ウェーハのアンロードおよびローディングのためにボックスを開いてツール ウェーハ ハンドラーにボックスを提示するコンポーネントとの間の機械的インターフェイスのツール側を指定します。ボックス オープナー/ローダー ユニットには、1 つ以上のロード ポート (SEMI E15.1 に準拠) と、空のボックスまたは待機ロット (ツールのスループットで必要な場合) の保管容量が含まれます。ボックス オープナー/ローダー ユニットは、ボックス (SEMI E47.1 および SEMI E62 に準拠) を処理するだけでなく、カセット (SEMI E1.9 に準拠) を開くように構成することもできます。この規格は、そのようなすべてのキャリアおよび任意のキャリア容量 (13 枚および 25 枚のウェーハ) に対して 1 つのインターフェイスを定義します。

この規格は、すべての機械的インターフェースにおけるモジュール性と互換性を確保しながら、イノベーションに最小限の制限を設ける適切なレベルの仕様を設定することを目的としています。機械的インターフェイスのみが指定されています。材料要件や微小汚染の制限は指定されていません。この規格で指定されているインターフェイスは、密閉されたミニ環境を備えたツール用に設計されていますが、単に明確に定義された自動化インターフェイスである可能性もあります。このインターフェイスは、高い再現性や迅速な取り外しを提供することを目的としたものではありません (どちらもボックス オープナー/ローダー ユニットの他のカップリングによって提供できます)。この仕様は、ロード ポートが上下に積み重ねられている場合にも適用されません。この仕様は、オープンカセットをロードロックチャンバーに直接挿入する場合には適用されません。

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)
SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用される FOUPS の機械仕様
SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせとサポートに使用されるキネマティックカップリングの仕様
SEMI E62 — 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様

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