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SEMI E68 - マスフローコントローラーのウォームアップ時間を決定するための試験方法 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意:この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。
このメソッドの目的は、標準化された マスフローコントローラー (MFC) のウォームアップ時間を定量化する方法。
この方法のテスト条件はシミュレーションを目的としています。 周囲条件に均一化された MFC を使用したベンチトップ ウォームアップ 電源を投入する 24 時間前まで。
参照SEMI規格（別途購入）
なし。
改訂履歴
SEMI E68-0997 (再承認 0913)
SEMI E68-0997 (再承認 0309)
SEMI E68-0997 (再承認 1103)
SEMI E68-0997 (初公開)
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