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SEMI E66 - マスフローコントローラーによる粒子の寄与を決定するための試験方法 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 12 月 8 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 5 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1997 年 9 月に出版されました。以前は 2011 年 6 月に出版されました。
この試験方法の目的は、高純度ガス システムでの使用を目的としたマス フロー コントローラー (MFC) による粒子の寄与を測定することです。
この文書では、テスト条件下でマスフローコントローラー間で粒子の寄与を統計的に有意に比較するテスト方法について説明します。
この試験方法は、高純度ガス システムへの設置を目的とした MFC を試験する手順を定義します。メーカーおよびエンドユーザーによる使用を目的としています。
参照されるSEMI規格SEMI E29 — マスフローコントローラーおよびマスフローメーターの校正に関する用語
SEMI F1 — 高純度ガス配管システムおよびコンポーネントのリーク完全性に関する仕様
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