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SEMI E77 - サロゲートガスを使用したマスフローコントローラーの変換係数計算の試験方法 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2015 年 5 月 19 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2015 年 8 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1998 年に出版されました。以前は 2010 年 7 月に出版されました。
この試験方法の目的は、マスフローコントローラー (MFC) におけるあるガスから別のガスへの公称平均変換係数を定量化し、MFC の流量の関数として変換係数を定量化することです。
この手順では、2 つのガス間の MFC 変換係数と関数を決定する方法について説明します。
この文書は、メーカーとユーザー間のコミュニケーションのための共通の基盤を提供します。
この文書の目的は、特定のテスト プログラムを提案することではなく、この方法でカバーされるパラメータをテストするときに使用するテスト方法を指定することです。基準動作条件は、「最高の」パフォーマンスが期待できる環境条件を表します。
参照されるSEMI規格なし。
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