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SEMI E77 - マスフローコントローラーの比較率の代用ガス使用による計算方法 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 入手可能となります。 初版は1998年発行。前版は2004 年11 月発行。
本試験方法の目的は、１台のMFCが他のガスに変更したとき、公平均換算率およびそのMFC の流量関数としての換算率を定量化することである。
参照されるSEMI規格
なし。
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