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SEMI E82 - 工程間／工程内AMHS SEMの仕様（IBSEM） -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本標準は、global Information & Control Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2012年2月21日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 .orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1999年発行。前版は2006年11月発行。
注意: この文書は、編集上の修正を行い、再承認されました。
本スタンダードは工程内AMHS搬送装置の個別装置モデル（ SEM ）を確立するものである（ IBSEM ）。モデルは装置特性および動作で構成されており、それらはSEMI E30の基本要求および追加選択性能とともに実装本標準の従来は自動化された（半導体製造およびフラットパネルディスプレイなど）工場へのIBSEM準拠の搬送装置の統合を容易にすることである。 から見たIBSEM準拠の搬送装置の運用モデルを定義して実現している。 ここでは標準化されたホストインターフェースおよび搬送装置の運用動作（，状態コントロールモデル，データ報告，報告レベルなど）が定義本基準の範疇の課題のいくつかに関しては今後も活動を続ける必要がある。その課題とは暫定管理特性（キューイング）、キャリア移載のためのパラレルインターフェース（ SEMI E23 ）、搬送システムシリアル，および搬送単位の配送などである。
本標準の範囲は（ §13に規定している） GEMモデルに準拠するSEMI装置通信標準2 （ SECS-II ）によってホストが認識する工程間，工程内AMHS搬送装置（ OHT ， OHS ， RGT ， AGT ） 本基準はSECS通信リンク幼児搬送装置がどのように見えるか定義しているが，搬送装置の内部動作は定義されていない。 このクラスの搬送装置すべての基準として個別TRANSFERコマンド状態モデルおよび搬送装置側システムのシアトル状態モデルが含まれている。
本書では（ §13 に規定されている） GEM 基本要求および追加選択性能は IBSEM 準拠の搬送装置にすでに実装されているものと分岐。 ），収集イベント，アラームドキュメント，リモートコマンド，変数データ項目，および材料搬送の領域でGEM標準要求および性能が拡張されている。
参照されるSEMI規格SEMI E4 — SEMI 機器通信標準 1 メッセージ転送 (SECS-I)
SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E23 — カセット転送パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E32 — 物質移動管理 (MMM)
SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス
SEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様
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