SEMI E83 - PGVメカニカルドッキングフランジの仕様 -

Abstract

免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee で技術的に承認されています。現版は2014年5月12日、 global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認されました。 semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1999年6月発行。前版は2013年4月発行。

これは、パーソンガイデッドビークル（ PGV ）とロードポートを有するデバイス上のインターフェースの互換性をさらに推進するものである。

本仕様は、PGV に使用されるドッキングフランジの固定（装置）側の機械的仕様を規定する。 このフランジは、ロードポートの標準により定められた領域内で床に取り付けられる。 次のものに限定されない： SEMI E15.1、SEMI G82ロードポート（300mm用）およびSEMI 154 （ 450mmウェーハキャリア用）のSEMI E64の除外領域。

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E64 — SEMI E15.1 ドッキング インターフェイス ポートへの 300 mm カートの仕様
SEMI E154 — 450 mm ロードポートのメカニカルインターフェース仕様
SEMI G82 — バックエンドプロセスにおけるフレームカセット用の 300 mm ロードポートの暫定仕様

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.