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S01200 - SEMI S12 - 装置の汚染除去に対する環境、健康および安全ガイドライン
SEMI S12 - 装置の汚染除去に対する環境、健康および安全ガイドライン セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E09700 - SEMI E97 - CIMフレームワークグローバル宣言および抽象インターフェースに関する暫定仕様
SEMI E97 - CIMフレームワークグローバル宣言および抽象インターフェースに関する暫定仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E09800 - SEMI E98 - オブジェクトベース装置モデル（OBEM）暫定基準
SEMI E98 - オブジェクトベース装置モデル（OBEM）暫定基準 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F09300 - SEMI F93 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用1ポートコンポーネントの寸法のための仕様
SEMI F93 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用1ポートコンポーネントの寸法のための仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E08900 - SEMI E89 - 測定システム分析（MSA）のガイド
SEMI E89 - 測定システム分析（MSA）のガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
S00600 - SEMI S6 - 半導体製造設備排氣通風基準
SEMI S6 - 半導体製造設備排氣通風基準 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥62,700
MS00100 - SEMI MS1 - ウェハ間接合アライメントターゲットの指定ガイド
SEMI MS1 - ウェハ間接合アライメントターゲットの指定ガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F08900 - SEMI F89 - 1.5 インチ タイプ表面実装ガス分配システム用のコンパクト サイズ マスフロー コントローラおよびマスフロー メータの寸法の仕様
SEMI F89 - 1.5 インチ タイプ表面実装ガス分配システム用のコンパクト サイズ マスフロー コントローラおよびマスフロー メータの寸法の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
MS01000 - SEMI MS10 - MEMS 包装材料を通る液体の浸透を測定する試験方法
SEMI MS10 - MEMS 包装材料を通る液体の浸透を測定する試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F01000 - SEMI F10 - フルオロカーボン材料で作られたチューブ継手接続部の故障を引き起こすために必要な内圧を決定するための試験方法
SEMI F10 - フルオロカーボン材料で作られたチューブ継手接続部の故障を引き起こすために必要な内圧を決定するための試験方法 通常価格¥49,500 JPY セール価格¥31,900 JPY
F06500 - SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブと共に使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様
SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブと共に使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様 通常価格¥59,400 JPY セール価格¥38,100 JPY
S02900 - SEMI S29 - フッ素系温室効果ガス（F-GHG）排出の特性評価と削減に関するガイド
SEMI S29 - フッ素系温室効果ガス（F-GHG）排出の特性評価と削減に関するガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F08700 - SEMI F87 - 1.125 インチ タイプ 4 ファスナー構成表面実装ガス分配システム用の 3 ポート コンポーネント (MFC/MFM を除く) の寸法の仕様
SEMI F87 - 1.125 インチ タイプ 4 ファスナー構成表面実装ガス分配システム用の 3 ポート コンポーネント (MFC/MFM を除く) の寸法の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F00900 - SEMI F9 - サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン製チューブ推奨接合部の漏洩特性を測定する試験方法
SEMI F9 - サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン製チューブ推奨接合部の漏洩特性を測定する試験方法 通常価格¥59,400 JPY セール価格¥38,100 JPY
F10600 - SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法
SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法 通常価格¥59,400 JPY セール価格¥38,100 JPY
E08100 - SEMI E81 - CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様
SEMI E81 - CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
MS00200 - SEMI MS2 - 薄膜の段差測定の試験方法
SEMI MS2 - 薄膜の段差測定の試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F00400 - SEMI F4 - 空気圧作動シリンダーバルブの仕様
SEMI F4 - 空気圧作動シリンダーバルブの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F04600 - SEMI F46 - オンサイト化学生成 (OSCG) システムのガイド
SEMI F46 - オンサイト化学生成 (OSCG) システムのガイド 通常価格¥49,500 JPY セール価格¥31,900 JPY
S01800 - SEMI S18 - 矽烷族氣體處理之安全衛生及び環保基準
SEMI S18 - 矽烷族氣體處理之安全衛生及び環保基準 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
S02200 - SEMI S22 - 半導体製造装置の電気設計のための安全に関するガイドライン
SEMI S22 - 半導体製造装置の電気設計のための安全に関するガイドライン セール価格Member Price: ¥270
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F00800 - SEMI F8 - 引張力を受けたときのフルオロカーボン材料製のチューブ継手接続部のシール能力を評価するための試験方法
SEMI F8 - 引張力を受けたときのフルオロカーボン材料製のチューブ継手接続部のシール能力を評価するための試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F09500 - SEMI F95 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネントの寸法のための仕様
SEMI F95 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネントの寸法のための仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E09700 - SEMI E97 - CIM フレームワークのグローバル宣言と抽象インターフェイスの暫定仕様
SEMI E97 - CIM フレームワークのグローバル宣言と抽象インターフェイスの暫定仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
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