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SEMI S22 - 半導体製造装置の電気設計のための安全に関するガイドライン -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本ガイドラインは、半導体産業で使用される生産装置の設計における電気の安全に関する考慮事項を提供する。
製品安全に関わる基本的な懸案事項には、本書に規定されている設計、製作、テストの原則を満たすか、または該当する電気的安全に関する基準の要求条件を満たすことにより対処できる。
参照されるSEMI規格
SEMI E33 — 半導体製造施設の電磁両立性に関する仕様
SEMI S1 — 機器の安全ラベルの安全ガイドライン
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S3 — 加熱化学槽の安全ガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S13 — 半導体製造装置で使用される操作および保守マニュアルの安全ガイドライン
SEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン
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