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SEMI MS1 - ウェハ間接合アライメントターゲットの指定ガイド -
Volume(s):
MEMS
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、MEMS/NEMS グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 8 月 18 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2006 年 3 月に出版されました。以前は 2012 年 8 月に出版されました。
このガイドは、一対のウェーハの各ウェーハ上に配置されるアライメント ターゲットの寸法、位置、数量、および特性を指定するためのフレームワークを提供します。このようなターゲットは、パターン化された 2 つのウェーハを結合する操作の前に、これらのウェーハを位置合わせするために使用されます。
このガイドは、内面アライメントと外面アライメントという 2 つの一般的なアライメント プロセスで使用できるターゲットに適用されます。
このガイドでは、仕様要件、マークの特性、用途について説明します。
参照されるSEMI規格SEMI M20 — ウェーハ座標系確立の実践
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