SEMI S6 - 半導体製造設備排氣通風基準 -

Abstract

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注意：本基準中は「応」字之條款を使用し、本文の記載に従って必須の承認記号を表示します。 , 並置非必須の説明記号は本文に記載されている内容を示します。

本安全基準係在提供導半體製造設備（ Se m i c o nd u ctor 製造機器、中小企業）之排氣通風安全性能標準、及び評価この類標準の測定方法。

現在、エネルギー源の利益と相対的な制限の傾向の下で、使用者が設定する排氣通風設備の最適化はより重要です。本安全基準の目的担当者は、排氣通気の効果、設計原理、測定試験方法および標準を提供することにある。

本基準適用時に連接至使用者設定排氣通風系統之可排氣通風的半導体製造設備。

本書の標準適用は（全部または一部）人員保護、設備および降下火災風險之排氣通風系統。

ここに記載されている効果は、提供者が使用者または他の提供者に提供するすべての設備、または提供者が他の提供者に提供する、さらに他の提供者が使用者に提供する設備の一部を評価することができます。

本書の趣旨は協助半導体設備提供商依存共通の性能標準計画設備排氣通風系統，並協助使用者提供商議解設備系統の各項排氣通風要求である。

測定試験方法詳細見第§ 8

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