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SEMI F4 - 空気圧作動シリンダーバルブの仕様 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
この仕様は、半導体製造で使用される空気圧作動シリンダー バルブの最小設計および性能要件を確立します。また、これらのバルブの調達を支援することも目的としています。
この仕様は、半導体製造施設および同等の研究開発分野で使用されるガスを含むシリンダーで使用する空気圧作動バルブに適用されます。
参照されるSEMI規格SEMI F1 — 高純度ガス配管システムおよびコンポーネントのリーク完全性に関する仕様
SEMI F19 — 電解研磨された 316L ステンレス鋼部品の接液面の表面状態の仕様
SEMI F20 — 汎用、高純度および超高純度の半導体製造用途で使用されるコンポーネント用の 316L ステンレス鋼棒、押出形材、プレートおよびチューブのインベストメント鋳造品の仕様
SEMI F32 — 高純度遮断バルブの流量係数を決定するための試験方法
SEMI S5 — ガスシリンダーバルブの流量制限装置のサイズ設定と識別に関する安全ガイドライン
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