SEMI F46 - オンサイト化学生成 (OSCG) システムのガイド -

Abstract

このガイドは世界的な施設委員会によって技術的に承認されており、北米施設委員会が直接責任を負います。最新版は、1999 年 4 月 15 日に北米地域標準委員会によって承認されました。最初は 1999 年 8 月に www.semi.org で入手可能でした。 1999年9月刊行予定。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

このガイドでは、半導体製造で使用されるオンサイト化学生成 (OSCG) の要件に対するシステムおよび全体的な実装の最小要件を確立します。また、OSCG システムの設計、パフォーマンス、認証に関する後続の文書で詳細なガイドを作成するための共通の基盤を確立することも目的としています。

このガイドは、シリコン ウェーハ、集積回路、および/または基板の製造プロセスで使用される化学薬品、特に超高純度の生成に使用される OSCG システム設計に適用されます。これらには、様々な濃度のＮＨ _４ ＯＨ、ＨＣｌ、ＨＦ、およびＮＨ _４ Ｆの水溶液が含まれるが、これらに限定されない。

SEMI S2 — 半導体製造装置の安全ガイドライン

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