SEMI S18 - 矽烷族氣體處理之安全衛生及び環保基準 -

Abstract

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この安全基準の目的担当者は、易燃性化合物の保存、処理および使用における最低安全衛生基準を設定するために提供する。

本安全基準の目的係は、半導体、 FPD 、 PV製造及びその他の使用易燃性化合物製造設備の最低安全衛生設計基準を設定する。

本安全基準範疇の易燃性化合物は表１のとおり。

参照されるSEMI規格

SEMI F1 — 高純度ガス配管システムおよびコンポーネントのリーク完全性に関する仕様
SEMI F5 — ガス状廃液の処理に関するガイド
SEMI F6 — 有害ガス配管システムの二次封じ込めに関するガイド
SEMI S1 — 機器の安全ラベルの安全ガイドライン
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S4 — 調剤キャビネットに含まれる化学シリンダーの分離に関する安全ガイドライン
SEMI S5 — ガスシリンダーバルブの流量制限装置のサイズ設定と識別に関する安全ガイドライン
SEMI S6 — 半導体製造装置の排気換気に関する環境、健康、安全ガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S13 — 半導体製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン

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