SEMI S12 - 装置の汚染除去に対する環境、健康および安全ガイドライン -

Abstract

注意：これ 翻訳は参考コピーのみです。間に差異が存在する場合は、 英語版と他の言語への翻訳。英語版は 公式かつ権威のあるバージョン。

免責事項： このSEMI スタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMI スタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

^E本スタンダードは，句読点を修正する為， 2015年11月，編集上の修正が行われました。修正箇所は，タイトルである。

注意： 「注」の表題のついた段落は，本安全ガイドラインの公式的な一部ではなく，また安全ガイドライン本文の内容の変更や書き換えを意図したものではない。委員会が提供したものである。

本書は、危険物質に暴露されたか、暴露された可能性があり、将来生産での使用を意図的に行われる製造装置（ ME ）および部品の汚染除去のための見通しを確立する。使用を意図される装置には，再使用，再販売，修理，再生または再構成のために提供される装置も含まれる。

本安全ガイドラインは、地域、地域、国家、および国際の規制と組織の政策を適切に考慮して、それぞれの現場で採用されるべきである。

本安全ガイドラインは、個別の状況に存在することがある現実的な限界を認めながら、輸送前に汚染をできる限り除去するために使用することを目的としている。ば、化学的に完全な汚染除去はできないことが認識されている。 ME譲渡人は、残存しているすべての既知の潜在的な危険が明確に特定されているところをME 譲受人に確保するあるべきである。

本安全ガイドラインは、危険物質に暴露されたか、暴露された可能性があり、人の健康または環境に展望を及ぼす可能性があるMEおよび部品の汚染除去と取り扱いに適用される。 、停止、解体、取り外し、ラベル付け、輸送前の梱包などがあります。

本安全ガイドラインは、汚染除去および汚染除去に関連して残留する危険を文書化するための最低基準を説明する。

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン

SEMI S16 — 耐用年数終了時の環境影響を低減するための半導体製造装置設計ガイド

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