SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of a Standard before purchasing. SEMI Standards currently use PDF file format and are DRM-protected, which requires Adobe Acrobat Reader and the FileOpen Plug-In. Refer to the DRM FAQs for details.


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Artificial Intelligence (AI) Use Prohibited: You may not use the SEMI Standards, or any portion thereof, as input to any artificial intelligence or machine learning system, or for the purpose of training, testing, or improving any AI model. You also may not use AI to create derivative works, adaptations, or other materials derived from or substantially based on SEMI Standards, including but not limited to annotations, outlines, training materials, reference guides, or transformed versions, in any form or for any purpose. Any violation of this policy constitutes a breach and will result in suspended access to SEMI Standards.

E01501 - SEMI E15.1 - 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 - 300mm 공구 로드 포트 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
E01600 - SEMI E16 - 질량 흐름 컨트롤러 누설률 결정 및 설명을 위한 가이드
SEMI E16 - 질량 흐름 컨트롤러 누설률 결정 및 설명을 위한 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
E01600 - SEMI E16 - 마스후로콘트로라漏洩率の決定 および記述のguide
SEMI E16 - 마스후로콘트로라漏洩率の決定 および記述のguide 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩348,000
E01700 - SEMI E17 - 질량 흐름 컨트롤러 과도 특성 테스트 가이드
SEMI E17 - 질량 흐름 컨트롤러 과도 특성 테스트 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
E01700 - SEMI E17 - 마스플로 콘트로라의 온열 특수 테스트 가이드
SEMI E17 - 마스플로 콘트로라의 온열 특수 테스트 가이드 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩348,000
E01800 - SEMI E18 - 질량 유량 컨트롤러의 온도 사양 가이드
SEMI E18 - 질량 유량 컨트롤러의 온도 사양 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
E01900 - SEMI E19 - SMIF(Standard Mechanical Interface) 사양
SEMI E19 - SMIF(Standard Mechanical Interface) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
E01904 - SEMI E19.4 - 200mm 표준 기계 인터페이스(SMIF) 사양
SEMI E19.4 - 200mm 표준 기계 인터페이스(SMIF) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
E01905 - SEMI E19.5 - 300mm 하단 개방 표준 기계 인터페이스(SMIF) 사양
SEMI E19.5 - 300mm 하단 개방 표준 기계 인터페이스(SMIF) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
E02000 - SEMI E20 - 클러스터 툴 모듈 인터페이스: 전력 및 비상 정지 표준
E02100 - SEMI E21 - 클러스터 툴 모듈 인터페이스 사양: 기계적 인터페이스 및 웨이퍼 이송
E02200 - SEMI E22 - 클러스터 툴 모듈 인터페이스 사양: 전송 모듈 엔드 이펙터 제외 볼륨
E02300 - SEMI E23 - 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI E23 - 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
E02300 - SEMI E23 - 카셋트 장치 패러렐I/Ointaferes에 관한 사항
SEMI E23 - 카셋트 장치 패러렐I/Ointaferes에 관한 사항 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩348,000
E02400 - SEMI E24 - Cluster Tool Module Interface: Isolation Valve Interlocks Standard
SEMI E24 - Cluster Tool Module Interface: Isolation Valve Interlocks Standard 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
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