SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

E00600 - SEMI E6 - 半導体製造装置の設置に関する文書のguide
SEMI E6 - 半導体製造装置の設置に関する文書のguide 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
E01000 - SEMI E10 - 半導体製造装置の信頼性,有用性,整備性(RAM),利用性の定義와 測定のための仕様
E01200 - SEMI E12 - 질량 유량계 및 질량 유량 컨트롤러에 사용되는 표준화된 압력, 온도, 밀도 및 유량 단위에 대한 안내서
E01400 - SEMI E14 - 프로세스 또는 지원 도구에서 제품에 기여한 입자 오염 측정
SEMI E14 - 프로세스 또는 지원 도구에서 제품에 기여한 입자 오염 측정 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E01500 - SEMI E15 - 공구 로드 포트 사양
SEMI E15 - 공구 로드 포트 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E01501 - SEMI E15.1 - 300mm 소형 로드포트 전용 부품
SEMI E15.1 - 300mm 소형 로드포트 전용 부품 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
E01501 - SEMI E15.1 - 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 - 300mm 공구 로드 포트 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E01600 - SEMI E16 - 질량 흐름 컨트롤러 누설률 결정 및 설명을 위한 가이드
SEMI E16 - 질량 흐름 컨트롤러 누설률 결정 및 설명을 위한 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E01600 - SEMI E16 - 마스후로콘트로라漏洩率の決定 および記述のguide
SEMI E16 - 마스후로콘트로라漏洩率の決定 および記述のguide 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
E01700 - SEMI E17 - 질량 흐름 컨트롤러 과도 특성 테스트 가이드
SEMI E17 - 질량 흐름 컨트롤러 과도 특성 테스트 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E01700 - SEMI E17 - 마스플로 콘트로라의 온열 특수 테스트 가이드
SEMI E17 - 마스플로 콘트로라의 온열 특수 테스트 가이드 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
E01800 - SEMI E18 - 질량 유량 컨트롤러의 온도 사양 가이드
SEMI E18 - 질량 유량 컨트롤러의 온도 사양 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E01900 - SEMI E19 - SMIF(Standard Mechanical Interface) 사양
SEMI E19 - SMIF(Standard Mechanical Interface) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E01904 - SEMI E19.4 - 200mm 표준 기계 인터페이스(SMIF) 사양
SEMI E19.4 - 200mm 표준 기계 인터페이스(SMIF) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E01905 - SEMI E19.5 - 300mm 하단 개방 표준 기계 인터페이스(SMIF) 사양
SEMI E19.5 - 300mm 하단 개방 표준 기계 인터페이스(SMIF) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
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