SEMI E6 - 半導体製造装置の設置に関する文書のguide -

Abstract

本 本 は は, 글로벌 시설위원회 (Global Secilities Committee) で 技術 技術 的 に に さ さ れ た もの もの で で 承認 さ さ れ た もの で で が が 直接 直接 責任 を 負う 負う もの である である。。 現版 2002 年 年日 に に に 북미 지역 표준위원회 にて さ さ れ れて ている。2003年1月にまずwww.semi.org で入手可能になり，2003年3 月発行に至る。初版は1982年発行，前版は1996 年12 月発行。

참고 : 本文書は2002年，投票によりSEMI E6 의 全面改訂として承認された.

半導体産業では装置（半導体製造装置）が多様かつ複雑になっているため，設備（工場ユーtiriti設備）を設計し，装置を設置する人たちにとって重要な問題が生まれてきている。 本gaidにより，設備を準備し，半導体製造装置を効率的に設置するために必要な情報を装置sapraiヤ及び半導体製造業者が標準的な方法で交換しあうことによって，両者の利益につながるはずである.

참조된 SEMI 표준

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E52 — 디지털 질량 흐름 컨트롤러에 사용되는 참조 가스에 대한 실습
SEMI E63 — 300mm 박스 오프너/로더-공구 표준(BOLT)에 대한 기계적 사양

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