SEMI E5 - 半導体製造装置通信standard2 멧세이지(SECS-II) -

Abstract

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반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 利用 にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「 「べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

SEMI 半導体製造装置通信standard2 ( SECS-II )は, INTERRIJENT装置와 host間で交換する메세지의 解釈について詳細に定義している.本仕様は，日本電子工業振興協会（JEIDA ）の第12 委員会の協力により規定された.

SECS-II は，半導体製造装置通信standard1 ( SECS -I ) および，他の멧세이지트란스파프로트콜과 両立し得る스탄다드데다루。멧세이지트란스파프로트콜については， § 6に詳述されている.

個々の装置について最小限の情報でついてのソフトWeアが構築できる段階までmeッセージ定義を可能とする，これがSECS-IIの目的である。mat，装置側もhostistについて最小限の情報を持つだけでソftweaの構築が可能となる.

SECS-II 로 정의할 수 있는 멧세이지는, IC 製造に要請される典型的な処理をサポートしている.別なメッセージについても定義できるようにしている。通常の処理は，hostの共通ソftweaで扱うことができるが、装置のすべての機能をsaポートするためには装置固有のホストソフトウェアが必要となることがある.

SECS-II 는, SECS-I 의 가장 큰 멧세이지, 形式와 意味を与えている.

SECS-II 는 装置와 호스트 데메세지와 같은 형식으로 형형색색의 방식으로 정의를 정의하는 것입니다.に複数のメッセージが定義される（판크션）.

SECS-II 는, 아이템과 아이템리스트를 이야기하는 것으로, 멧세이지의 계획을 정의할 수 있는 것입니다. 。

メッセージ交換は, トランザクションプロトコルと呼ばれる手順により実行される。 SECS-IIを採用する装置に対しては, この トランザクションプロトコル上からの最小限の要求がある.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E4 — SEMI 장비 통신 표준 1 메시지 전송 사양(SECS-I)
SEMI E6 — 반도체 장비 설치 문서 가이드
SEMI E37 — 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스
SEMI E148 — TS-Clock 개체의 시간 동기화 및 정의에 대한 사양

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