SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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M06700 - SEMI M67 - 測定した厚さデータ配列からESFQR、ESFQD、ESBIR METRICS法を使ってウェーハのエッジ近傍形状を決定するための作業方法
M06800 - SEMI M68 - 曲率メトリック、ZDD を使用して測定された高さデータ配列からウェーハのニアエッジ形状を決定するためのテスト方法
M06800 - SEMI M68 - 測定した高さデータ配列から曲率法ZDDを使ってウェーハのエッジ近傍形状を決定するための作業方法
M07000 - SEMI M70 - 部分的なウェーハサイトの平坦度を使用してウェーハのニアエッジ形状を決定するための試験方法
M07000 - SEMI M70 - パーシャルサイト平坦度を使ってウェーハのエッジ近傍形状を決定するための作業方法
M07100 - SEMI M71 - CMOS LSI用シリコン・オン・インシュレーター(SOI)ウェーハのための仕様
M07100 - SEMI M71 - CMOS LSI用シリコン・オン・インシュレータ(SOI)ウェーハの仕様
M07300 - SEMI M73 - 測定されたウェーハエッジプロファイルから関連特性を抽出するための試験方法
M07300 - SEMI M73 - 測定したウェーハ刃エッジから直接的関連性のある特性を抽出するテスト方法
M07400 - SEMI M74 - 直径 450 mm の研磨ウェーハの機械的取り扱いの仕様
SEMI M74 - 直径 450 mm の研磨ウェーハの機械的取り扱いの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
M07400 - SEMI M74 - 直径450mmメカニカルハンドリング鏡面ウェーハの仕様
SEMI M74 - 直径450mmメカニカルハンドリング鏡面ウェーハの仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
M07500 - SEMI M75 - 研磨単結晶ガリウムアンチモン化ウェハの仕様
SEMI M75 - 研磨単結晶ガリウムアンチモン化ウェハの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
M07500 - SEMI M75 - 鏡面単結晶ガリウム アンチモンスライスの仕様
SEMI M75 - 鏡面単結晶ガリウム アンチモンスライスの仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
M07600 - SEMI M76 - 開発中の直径 450 mm 研磨単結晶シリコン ウェーハの仕様
M07600 - SEMI M76 - 開発用直径450 mm シリコン単結晶鏡面ウェーハの仕様
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