SEMI M75 - 研磨単結晶ガリウムアンチモン化ウェハの仕様 -

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Volume(s): Materials
Language: English



Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI M75-0816 - 非アクティブ

リビジョン

Abstract

 

この文書の目的は、アンチモン化ガリウム (GaSb) 単結晶材料の円形ウェーハの調達および供給において指定されるパラメータの標準的な説明を定義することです。

 

この仕様には、円形で平坦な GaSb ウェーハの調達に必要な情報と、そのようなウェーハを供給するための標準的な寸法および方向の規則が含まれています。

 

参照されるSEMI規格

SEMI MF26 — 半導体単結晶の配向を決定するための試験方法
SEMI MF671 — シリコンおよびその他の電子材料のウェーハの平坦長さを測定するための試験方法
SEMI T5 — 円形ガリウムヒ素ウェーハの英数字マーキングの仕様

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