SEMI M75 - 鏡面単結晶ガリウム アンチモンスライスの仕様 -

Abstract

注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。

免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、global Compound Semiconductor Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年11月19日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2009年2月にwww.semi.orgで。

このドキュメントの目的はガリウム アンチモン（GaSb)単結晶材料の円形ウェーハの購入と必ず仕様化されるべきパラメータに対する標準記述を規定するものである。

これらの仕様は円形で平坦化されたGaSbウェーハの購入に対して要求される情報とこれらのウェーハの供給に対する標準的な寸法や方位の約定を含みます。

SEMI M9-90 — 研磨単結晶ガリウムヒ素スライスの仕様
SEMI MF26 — 半導体単結晶の配向を決定するための試験方法
SEMI MF671 — シリコンおよびその他の電子材料のウェーハの平坦長さを測定するための試験方法
SEMI T5 — 円形ガリウムヒ素ウェーハの英数字マーキングの仕様

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.