SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of a Standard before purchasing. SEMI Standards currently use PDF file format and are DRM-protected, which requires Adobe Acrobat Reader and the FileOpen Plug-In. Refer to the DRM FAQs for details.


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E03600 - SEMI E36 - 半導体装置製造情報タグ付け仕様
SEMI E36 - 半導体装置製造情報タグ付け仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E03700 - SEMI E37 - 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービスの仕様
SEMI E37 - 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービスの仕様 セール価格Member Price: ¥225
Non-Member Price: ¥62,700
E03800 - SEMI E38 - クラスター ツール モジュール通信 (CTMC)
SEMI E38 - クラスター ツール モジュール通信 (CTMC) セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E03900 - SEMI E39 - オブジェクト サービスの仕様: 概念、動作、およびサービス
SEMI E39 - オブジェクト サービスの仕様: 概念、動作、およびサービス セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E04000 - SEMI E40 - 処理管理の仕様
SEMI E40 - 処理管理の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E04100 - SEMI E41 - 例外管理 (EM) 規格
SEMI E41 - 例外管理 (EM) 規格 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E04200 - SEMI E42 - レシピ管理標準: 概念、動作、およびメッセージ サービス
SEMI E42 - レシピ管理標準: 概念、動作、およびメッセージ サービス セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E04300 - SEMI E43 - 物体および表面の静電気測定のためのガイド
SEMI E43 - 物体および表面の静電気測定のためのガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E04400 - SEMI E44 - 小型環境の調達および受け入れに関するガイド
SEMI E44 - 小型環境の調達および受け入れに関するガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E04500 - SEMI E45 - VPD-TXRF、VPD-AAS、または VPD/ICP-MS を使用した微小環境からの無機汚染の測定のための試験方法
E04600 - SEMI E46 - イオン移動度分析法 (IMS) を使用した微小環境からの有機汚染の測定のための試験方法
E04700 - SEMI E47 - 150 mm/200 mm ポッド ハンドルの仕様
SEMI E47 - 150 mm/200 mm ポッド ハンドルの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E04701 - SEMI E47.1 - 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用される FOUPS の機械仕様
E04800 - SEMI E48 - SMIF インデクサーのボリューム要件の仕様
SEMI E48 - SMIF インデクサーのボリューム要件の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E04900 - SEMI E49 - 高純度および超高純度の配管性能、サブアセンブリ、および最終アセンブリに関するガイド
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