SEMI E44 - 小型環境の調達および受け入れに関するガイド -

Abstract

注意: この文書は投票され、承認されました。 2001年に撤退。

買い手の要求は次のとおりであると広く感じられています。 標準化された。このガイドの目的は、標準化された手順を提供することです。 ミニ環境の調達と受け入れのため。それは、 包括的な情報を提供することにより、調達仕様書を作成する際のバイヤー に関連するすべてのパラメータの構造化された概要とチェックリスト ミニ環境の調達。

また、サポートと改善を目的としています。 ミニ環境取得に関するコミュニケーションと共通合意 売り手と買い手。これは、目的に応じてさまざまな詳細レベルで使用できます。 関与するミニ環境のタイプ。

必要に応じて、サポートについて言及します。 次のような文書:

• 国際仕様
• 国内仕様
• 会社仕様書

この文書では主要なトピックを定義および説明します 通常、ミニ環境の調達と受け入れに含まれます。の使用 この文書により、売主と売主との間で迅速かつ簡潔な合意が得られることが期待されます。 買い手。この文書は、定義によれば、次のようなガイドであることが強調されています。 （SEMI国際標準プログラム - 編集ガイドライン）を「シリーズ」として ユーザーの認識を高めることを目的としたオプションまたは指示の 特定の主題分野で利用可能な技術を提供し、からの情報を提供します。 その後の評価と標準化を導き出すことができます。ガイドは 見解の一致に基づいており、特定の意見を示唆する場合もあれば、しない場合もあります。 行動方針。"

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E14 — 寄与する粒子汚染の測定 プロセスまたはサポートツールから製品へ

SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)

SEMI E45 — 無機物を測定するための試験方法 微小環境からの汚染

SEMI E46 — 有機汚染の測定に関する仕様 ミニ環境から

SEMI E48 — SMIF インデクサー ボリュームの仕様 要件

改訂履歴

SEMI E44-96 (撤回 0301)

SEMI E44-96 (初公開)

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