SEMI E38 - クラスター ツール モジュール通信 (CTMC) -

Abstract

この規格は、世界的な情報管理委員会によって技術的に承認されました。この版は、2006 年 11 月 21 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2007 年 2 月には www.semi.org で入手可能になり、2007 年 3 月には CD-ROM で入手可能になりました。初版は 1995 年に発行されました。以前は 1996 年 12 月に出版されました。

注意: この文書は 2007 年に投票され、撤回が承認されました。

クラスター ツールは、半導体製造装置におけるモジュール性と柔軟性のニーズを満たします。この標準は、自動制御のためのクラスター ツール内のモジュールとの通信およびモジュール間の通信に対処します。ここで定義されるモジュール通信サービスにより、独立したサプライヤーからのモジュールの標準的な相互運用性が可能になります。これは、他のクラスター ツール標準と合わせて、標準に準拠した相互運用可能なサブシステムの出現をもたらすことを目的としています。これらのサービスの存在を前提としたアプリケーション ソフトウェアの開発を許可し、それらのサービスを提供するソフトウェア製品の開発を許可する必要があります。ここで説明した標準を採用すると、独立したサプライヤーからのクラスター ツール コンポーネントを統合するために必要な労力が大幅に削減されます。コンプライアンスには、最小限だが特定の標準サービスのセットのサポートが必要です。クラスター ツール モジュールの通信は、クラスター ツールとファクトリ間の通信ではなく、クラスター ツール内のモジュールとの通信およびモジュール間の通信のみを扱います。モデル化されるのはモジュールとその相互関係であり、単一の機器として見なされるクラスター ツールではありません。この範囲には、プロセス モジュールでの材料処理、クラスター ツール内での材料の移動、および工場との材料の入出力のための主要な制御サービスが含まれます。レシピ処理、例外条件の解決、イベント レポート、およびデータ アクセスを可能にするサポート サービスも存在します。分散制御には信頼性の高い通信環境が必要であり、補足規格で規定されています。この標準は、クラスタ ツール内で必要とされる、より一般的なサービス標準の適用を指定します。これには、クラスター ツール アーキテクチャによって課される制限と、コンプライアンスに必要な基本機能が含まれます。一般的なサービス、プロトコル、および通信環境要素の詳細は、参照される対応する標準文書で定義されています。

下位文書:

SEMI E38.1-95 - クラスタツールモジュール通信用の通信環境 HSMS/SECS-II

SEMI E21 — クラスターツールモジュールインターフェース: 機械的インターフェースおよびウェーハ搬送規格
SEMI E22 — クラスターツールモジュールインターフェース: トランスポートモジュールエンドエフェクター除外ボリューム標準
SEMI E30 — 通信と制御の汎用モデル

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.