SEMI E41 - 例外管理 (EM) 規格 -

Abstract

インタラクティブな例外処理により、工場での自動制御を維持しながらエラー回復能力が強化されます。この規格は、機器の例外処理に関する半導体製造環境内の通信ニーズに対応します。この標準は、機器の異常状況に関する効果的な報告と対話のために例外エージェントによって提供される機能を指定します。例外管理の概念、対話型例外処理に関連する機器の動作、および機能を提供するために必要なメッセージング サービスについて説明します。ここで定義される通信サービスにより、独立したシステムの標準ベースの相互運用性が可能になります。これらのサービスの存在を前提としたアプリケーション ソフトウェアの開発、およびそれらのサービスを提供するソフトウェア製品の開発を許可するものとします。自動例外管理を実装すると、エラー回復時間が短縮され、多くの状況で機器制御が自動から手動に変更されることを回避できます。説明した標準を採用すると、準拠した機器コンポーネントを統合するために必要な労力が大幅に削減されます。コンプライアンスには、特定の標準サービスのセットが必要です。

下位標準:

SEMI E41.1-0996 — 例外管理標準の SECS-II サポート

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)

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