SEMI 3D8 - 3DS-IC 一時的ボンドデボンド (TBDB) プロセスで 300 mm キャリア ウェーハとして使用するシリコン ウェーハを記述するためのガイド

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C02200 - SEMI C22 - 三臭化ホウ素のガイド
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C00345 - SEMI C3.45 - ヘキサフルオロエタン (C2F6) の規格、品質 99.996% (暫定)
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C05700 - SEMI C57 - アルゴンの仕様
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