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SEMI C22 - 三臭化ホウ素のガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2011 年 12 月 24 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2012 年 2 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1994 年に出版されました。以前は 2006 年 3 月に出版されました。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
この文書の目的は、必要性が確認されている三臭化ホウ素のグレードについてのガイドを提供することです。
この文書には、半導体産業で使用されるグレードの三臭化ホウ素について提案されている不純物制限がリストされています。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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