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SEMI D52 - 基板IDの基準位置の仕様 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的なフラット パネル ディスプレイ - ファクトリー オートメーション委員会によって技術的に承認されました。この版は、2008 年 5 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2008 年 6 月には www.semi.org で入手可能になりました。
E この規格は、誤りを修正するために 2008 年 9 月に編集上修正されました。 ¶ 6.1.3 および ¶ 6.1.4 に変更が加えられました。
SEMI D32 では Bare Glass ID 位置は 1 つだけ指定されていますが、サイズが大きくなるにつれて効率的に動作させるには複数の基板 ID を割り当てる必要があります。したがって、この規格では、SEMI D32 に基づいて効率的に動作するための基板 ID の位置を指定します。
参照されるSEMI規格なし。
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