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SEMI C34 - 混合酸エッチング液の仕様とガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的な液体化学技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2012 年 12 月 20 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2019 年 2 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1981 年に出版されました。以前は 2006 年 3 月に出版されました。
この文書の目的は、半導体産業で使用される混合酸エッチング液の要件と、それらの規格をサポートするためのテスト手順を標準化することです。試験方法は統計的に有効な結果をもたらすことが示されています。メソッド検証の SEMI C1 要件に準拠している限り、代替メソッドを使用することができます。
この文書の範囲は、半導体産業で使用される混合酸エッチング液のグレードを対象としています。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
SEMI C2 — エッチング液の仕様
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