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SEMI C50 - トリメチルホスフィンのガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本仕様は、global Liquid Chemicals Committee で技術的に承認されている。現版は20 10年8月27日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 .org で入手可能となる。 初版は1995年発行。前版は2005 年11 月発行。
本書の目的は、半導体産業で使用されるトリメチルホスフィンに対する要求条件を標準化する、またこれらの基準を試験する手順を標準化サポートすることである。いる。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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