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SEMI C57 - アルゴンの仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 12 月 8 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2005 年 3 月に出版されました。以前は 2011 年 2 月に出版されました。
この文書の目的は、半導体産業で使用されるさまざまなグレードのアルゴン (Ar) の一連の仕様を提供することです。
この文書には、半導体産業で使用されるすべてのグレードのアルゴンの要件が記載されています。
参照されるSEMI規格
SEMI C3 — ガスの仕様
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