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SEMI D17 - フラットパネルディスプレイガラス基板の出荷に使用されるカセットの機械的仕様 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様は、グローバル フラット パネル ディスプレイ – 機器委員会によって技術的に承認されており、北米フラット パネル ディスプレイ委員会が直接責任を負います。最新版は、1999 年 12 月 15 日に北米地域標準委員会によって承認されました。最初は 2000 年 1 月に入手可能でした。 2000 年 2 月に出版予定。初版は 1998 年 9 月に出版されました。
E
この規格は、SEMI E44 の廃止を反映するために 2003 年 1 月に編集上修正されました。セクション 4.1 が変更されました。この規格は、フラット パネル基板を基板仕上げ業者からディスプレイ メーカー、およびプロセス追加ユーザー間で出荷するために使用されるカセットの選択された要件を指定します。
この文書には、SEMI D18、フラット パネル ディスプレイ基板の水平輸送および保管に使用されるカセットの仕様からの関連寸法データが組み込まれています。
この規格は、基板の完全性を損なうことなく、組織間できれいなガラス基板やプロセスを追加した基板を輸送するための再利用可能なカセットの仕様レベルを設定することを目的としています。この規格は、共通の機械的インターフェースにおけるモジュール性と互換性を確保しながら、イノベーションに最小限の制限を設ける適切なレベルの仕様を設定することを目的としています。
参照されるSEMI規格SEMI D18 — フラットパネルディスプレイ基板の水平輸送および保管に使用されるカセットの仕様
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
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