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SEMI C3.53 - トリフルオロメタン (Chf3) の標準、99.95% の品質 -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。 2001 年 7 月に www.semi.org で入手可能。初版は1995年に出版されました。
注意: この文書は 2001 年に投票され、撤回が承認されました。
トリフルオロメタン (CHF 3 ) は、わずかにエーテル臭のある、無色、不燃性、非腐食性のガスです。独自の蒸気圧による液化ガスとしてシリンダーに入れて出荷されます。
参照されるSEMI規格なし。
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