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SEMI C3.45 - ヘキサフルオロエタン (C2F6) の規格、品質 99.996% (暫定) -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。 2001 年 7 月に www.semi.org で入手可能。初版は1992年に出版されました。
注意: この文書は 2001 年に投票され、撤回が承認されました。
ヘキサフルオロエタンは、すべての有機化合物の中で最も安定な化合物の 1 つです。不活性、無色、不燃性、無臭、無味です。
参照されるSEMI規格なし。
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