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SEMI C49 - ホウ酸トリメチルのガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2010 年 8 月 27 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2010 年 11 月に www.semi.org で入手可能です。初版は 1995 年に出版されました。以前は 2005 年 11 月に出版されました。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
この文書の目的は、半導体産業で使用されるホウ酸トリメチルの要件と、それらの規格をサポートするためのテスト手順を標準化することです。この文書は、業界のニーズが特定されているホウ酸トリメチルのグレードに関するガイドも提供します。ガイドの場合、現時点ではテスト方法が開発されていないか、統計的に検証されていない可能性があります。
この文書の範囲は、半導体産業で使用されるホウ酸トリメチルのグレードをカバーします。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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