SEMI C91 - ガス供給コンポーネントの水分ドライダウン特性を測定するための試験方法 -

Abstract

注意: このドキュメントはグローバル サポートによってサポートされなくなりました。 技術委員会。 SEMI F118に置き換えられました。

この試験方法では、判定手順を説明します。 ガス供給に使用されるコンポーネントの水分ドライダウン特性の説明 システム。このテストの結果は、次の定性的なランキングに使用できます。 湿気のドライダウンに関連する設計に基づいたガス供給コンポーネント システムのパフォーマンス。

このテスト方法は、あらゆる種類のインライン コンポーネントに適用されます。 ガス種を正確に供給するためのガス供給システムで使用されます。 半導体製造。適用可能なインラインコンポーネントはバルブです (空圧式、手動式、ハイブリッド式)、マスフローコントローラー(MFC)、圧力 レギュレーター、フィルター、圧力計/トランスデューサーなどの受動部品 そして流量計。

試験媒体 — 試験媒体は窒素とする。他の 不活性ガスはパージ特性が異なり、システムを乾燥させる可能性があります もっと速く、あるいはゆっくりと。反応性ガスは反応する可能性があるため使用しないでください。 湿気と化学的に。耐食性に関する考慮事項は次のとおりです。 現在の規格の範囲外ですが、テスト手順は次のとおりです。 腐食の研究に役立つことが証明されています。結果は次のようなランキングを提供します。 設計の違いの結果として生じる湿気の影響について。

動作状況 - ガスによる水分の寄与 配送コンポーネントは不適切な設計と構造の結果である可能性があります。 製造時、またはその後の暴露によって生じる汚染。 周囲空気または非乾燥ガス。したがって、主に 2 つのことを考慮する必要があります。 状況:

• 「初期ドライダウン」状況は次のように決定されます。 受け取った状態でのコンポーネントの水分含有量。 製造プロセスやデザイン、表面品質、前処理、 梱包が入り組んでいます。このテストはオプションであり、状況に応じて省略できる場合があります。 テストの目的について
• 定められた「動揺したときの対応」 コンポーネントが吸収し、その後放出される水分の量による 受信後の操作中に独立して、または一部として暴露された場合 ガス供給システム。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI C15 — ppm および ppb 湿度標準の試験方法

SEMI F112 — 水分測定の試験方法 表面実装型および従来のガス供給のドライダウン特性 キャビティリングダウン分光法 (CRDS) によるシステム

改訂履歴

SEMI C91-1115 (SEMI F118に置き換えられました)

SEMI C91-1115 (初公開)

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