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SEMI C85 - メチルイソブチルカルビノール (MIBC) のガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この文書の目的は、必要性が確認されているメチルイソブチルカルビノール (MIBC) に関するガイドを提供することです。
この文書の範囲は、半導体業界で使用される MIBC をカバーします。
参照されるSEMI規格
SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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