SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

Historical Individual Standards

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936 製品

E15400 - SEMI E154 - 450 mm ロード ポートの機械的特徴の仕様
SEMI E154 - 450 mm ロード ポートの機械的特徴の仕様 通常価格¥49,500 JPY セール価格¥31,900 JPY
E15800 - SEMI E158 - 450 mm ウェーハ (450 FOUP) の輸送および保管に使用されるファブ ウェーハ キャリアおよびキネマティック カップリングの機械的特徴に関する仕様
E15900 - SEMI E159 - 450 mm ウェーハの輸送および出荷に使用されるマルチ アプリケーション キャリア (MAC) の機械的特徴に関する仕様
E16300 - SEMI E163 - 特別に指定されたエリア内でのレチクルおよびその他の極めて静電気に敏感な (EES) アイテムの取り扱いに関するガイド
E16600 - SEMI E166 - 450 mm クラスタ モジュール インターフェイスの仕様: 機械インターフェイスおよびトランスポート標準
E01904 - SEMI E19.4 - 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF) の仕様
SEMI E19.4 - 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E01900 - SEMI E19 - 標準メカニカルインターフェイス (SMIF) の仕様
SEMI E19 - 標準メカニカルインターフェイス (SMIF) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E05100 - SEMI E51 - 典型的な施設サービスと終了マトリックスのガイド
SEMI E51 - 典型的な施設サービスと終了マトリックスのガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E05417 - SEMI E54.17 - A-LINK のセンサー/アクチュエーター ネットワークの仕様
SEMI E54.17 - A-LINK のセンサー/アクチュエーター ネットワークの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E05419 - SEMI E54.19 - MECHATROLINK 用センサー/アクチュエーター ネットワーク仕様
SEMI E54.19 - MECHATROLINK 用センサー/アクチュエーター ネットワーク仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
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