SEMI E54.17 - A-LINK のセンサー/アクチュエーター ネットワークの仕様 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2018 年 5 月 22 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2018 年 10 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2005 年 7 月に出版されました。以前は 2012 年 8 月に出版されました。

注意: この文書は、SEMI E54 規格スイートとともに発行されなくなりました。別売りで発行・販売しております。

この文書は、半導体製造装置の SEMI E54 デバイス モデルに従って動作するセンサー/アクチュエータ ネットワーク (SAN) 上のインテリジェント デバイス間の通信を可能にする、A-LINK プロトコルに基づく通信仕様を定義します。

この文書は、SEMI E54 の共通/特定のデバイス モデル ベースのセンサー/アクチュエーター デバイスとの相互運用性を提供します。

この文書は、機器の制御システムの一部として、§ 4 で参照されている A-LINK 公開仕様に固有のネットワーク上でセンサー/アクチュエータ/コントローラー (SAC) デバイスがどのように相互運用するかを指定します。

この文書は、共通デバイスモデル(CDM)および既存の特定デバイスモデル(SDM)を含むSEMI E54の主要部分との関係を定義します。この文書は、CDM および 1 つ以上の SDM、および A-LINK 公開仕様とともに使用されます。

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
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SEMI E54.10 — In Situ 粒子監視デバイス用のセンサー/アクチュエーター ネットワーク固有のデバイス モデルの仕様
SEMI E54.11 — エンドポイントデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.18 — 真空ポンプデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.22 — 真空圧力計用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.24 — センサー/アクチュエーターネットワークの仕様 汎用機器ネットワークセンサーの特定デバイスモデル

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