SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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Artificial Intelligence (AI) Use Prohibited: You may not use the SEMI Standards, or any portion thereof, as input to any artificial intelligence or machine learning system, or for the purpose of training, testing, or improving any AI model. You also may not use AI to create derivative works, adaptations, or other materials derived from or substantially based on SEMI Standards, including but not limited to annotations, outlines, training materials, reference guides, or transformed versions, in any form or for any purpose. Any violation of this policy constitutes a breach and will result in suspended access to SEMI Standards.

E13800 - SEMI E138 - XML ​​반도체 공통 부품 사양
SEMI E138 - XML ​​반도체 공통 부품 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E13800 - SEMI E138 - 半導体生産系で共通に使われる情報の構成要素のXML表現
SEMI E138 - 半導体生産系で共通に使われる情報の構成要素のXML表現 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩347,000
E13900 - SEMI E139 - 레시피 및 파라미터 관리(RaP) 사양
SEMI E139 - 레시피 및 파라미터 관리(RaP) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E13900 - SEMI E139 - レシピとパラメータに関する管理の規定(RaP)
SEMI E139 - レシピとパラメータに関する管理の規定(RaP) 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩347,000
E14000 - SEMI E140 - 가스 공급 시스템의 소유 비용(COO) 메트릭 계산 가이드
SEMI E140 - 가스 공급 시스템의 소유 비용(COO) 메트릭 계산 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E14100 - SEMI E141 - 통합 계측에 사용하기 위한 엘립소미터 장비 사양 가이드
SEMI E141 - 통합 계측에 사용하기 위한 엘립소미터 장비 사양 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E14200 - SEMI E142 - 기판 매핑 사양
SEMI E142 - 기판 매핑 사양 할인 가격 Member Price : ₩225
E14200 - SEMI E142 - 基板マッpingの仕様
SEMI E142 - 基板マッpingの仕様 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩347,000
E14300 - SEMI E143 - 50Ωの負荷に対する出力変動の測定およびすべての位相角において電圧定在波比が2.0の負荷に対する出力変動とスペクトルを測定するための試験方法
E14300 - SEMI E143 - 모든 위상 각도에서 2.0의 VSWR을 사용하여 50Ω 부하로 전력 및 변동을 측정하고 부하로 전력 변동 및 스펙트럼을 측정하는 테스트 방법
E14400 - SEMI E144 - 캐리어의 RFID 태그와 반도체 생산 및 자재 취급 장비의 RFID 판독기 사이의 RF 에어 인터페이스 사양
E14400 - SEMI E144 - 半導体製造装置 および材料handdring装置에 おける캐리아의RFID태그와RFIDrida의 間의 무선인타페스의 仕様
E14500 - SEMI E145 - XML의 측정 단위 기호 분류
SEMI E145 - XML의 측정 단위 기호 분류 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E14500 - SEMI E145 - XML에 기록할 수 있는 測定単位에 대한 기록
SEMI E145 - XML에 기록할 수 있는 測定単位에 대한 기록 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩347,000
E14600 - SEMI E146 - 실리콘 웨이퍼의 보관 및 운송에 사용되는 미니 환경의 미립자 오염 결정을 위한 테스트 방법
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