SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

E14400 - SEMI E144 - 캐리어의 RFID 태그와 반도체 생산 및 자재 취급 장비의 RFID 판독기 사이의 RF 에어 인터페이스 사양
E14400 - SEMI E144 - 半導体製造装置 および材料handdring装置에 おける캐리아의RFID태그와RFIDrida의 間의 무선인타페스의 仕様
E14500 - SEMI E145 - XML의 측정 단위 기호 분류
SEMI E145 - XML의 측정 단위 기호 분류 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E14500 - SEMI E145 - XML에 기록할 수 있는 測定単位에 대한 기록
SEMI E145 - XML에 기록할 수 있는 測定単位에 대한 기록 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
E14600 - SEMI E146 - 실리콘 웨이퍼의 보관 및 운송에 사용되는 미니 환경의 미립자 오염 결정을 위한 테스트 방법
E14700 - SEMI E147 - EDA(장비 데이터 수집) 가이드
SEMI E147 - EDA(장비 데이터 수집) 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E14700 - SEMI E147 - 装置データ取得(EDA) 관련 가이드
SEMI E147 - 装置データ取得(EDA) 관련 가이드 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
E14800 - SEMI E148 - TS-Clock 개체의 시간 동기화 및 정의 사양
SEMI E148 - TS-Clock 개체의 시간 동기화 및 정의 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E14800 - SEMI E148 - 時刻同期とTS-CLOCK오브제크트정의의 仕様
SEMI E148 - 時刻同期とTS-CLOCK오브제크트정의의 仕様 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
E14900 - SEMI E149 - 제조 장비의 획득 및 사용을 위한 장비 공급업체 제공 문서 가이드
E15000 - SEMI E150 - 장비 교육 모범 사례 가이드
SEMI E150 - 장비 교육 모범 사례 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E151 - SEMI E151 - データ品質を理解するためのguide
SEMI E151 - データ品質を理解するためのguide 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
E15100 - SEMI E151 - 데이터 품질 이해 가이드
SEMI E151 - 데이터 품질 이해 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E15200 - SEMI E152 - 150 mm EUVL 레치크루용 EUV 폿드의 구조
SEMI E152 - 150 mm EUVL 레치크루용 EUV 폿드의 구조 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
E15200 - SEMI E152 - 150mm EUVL 레티클용 EUV 포드의 기계적 기능 사양
SEMI E152 - 150mm EUVL 레티클용 EUV 포드의 기계적 기능 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
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