SEMI E140 - 가스 공급 시스템의 소유 비용(COO) 메트릭 계산 가이드 -

Abstract

이 가이드의 목적은 반도체 및 관련 산업에서 가스 전달 시스템의 단위 생산 비용 효율성을 평가하기 위한 표준 소유 비용(COO) 메트릭을 제공하는 것입니다.
가스 전달 시스템에는 고체, 액체 또는 기체 소스에서 전달되는 가스가 포함됩니다.

이 가이드는 또한 가스 전달 시스템에 COO 메트릭을 적용하는 방법을 설명합니다. 사용자는 이 가이드를 사용하여 모든 가스 공급 장비에 대한 COO를 계산할 수 있어야 합니다.

이 가이드는 전체 또는 제한된 COO 계산기를 구축하는 데 필요한 정의, 분류, 알고리즘, 방법 및 예제 값을 제공하여 장비 관련 비용을 쉽게 이해할 수 있도록 잘 정의된 절차를 수립합니다.

이 가이드는 모든 가스 전달 시스템에 적용할 수 있는 COO 메트릭을 정의합니다. 일부 용어는 집적 회로 웨이퍼 및 장치 생산에 특화되어 있지만 관련 산업의 다른 응용 프로그램에 적용될 수 있습니다.

COO 모델을 구축하기 위해 메트릭을 효과적으로 사용하려면 제약 조건 및 데이터 값을 식별해야 합니다. 가능하면 보조 모델에서 파생하거나 예제 값을 사용하는 대신 입력에 직접 값을 사용하십시오.

COO를 완전히 계산하려면 독점 데이터가 필요한 경우가 많으며 전체 공장 수율 및 관련 수율 손실 비용과 결합됩니다. 이 가이드는 내부 공장 및 장비 최적화, 투자 평가, 장비 설계 및 프로세스 개선에 사용될 수 있습니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성, 유지보수성(RAM) 및 활용도의 정의 및 측정을 위한 사양
SEMI E35 — 반도체 제조 장비의 소유 비용(COO) 메트릭 계산 가이드
SEMI E72 — 장비 풋프린트, 높이 및 무게에 대한 사양 및 가이드
SEMI E79 — 장비 생산성의 정의 및 측정을 위한 사양

개정 내역
SEMI E140-1022(기술 개정)
SEMI E140-0618(기술 개정)
SEMI E140-0312(기술 개정)
SEMI E140-0305(최초 발행)

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.