SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

E16200 - SEMI E162 - 450 mm프론트오프닝・쉽핑박스・로드포트의 메카니카루인타페스의 구조
E16200 - SEMI E162 - 450mm 전면 개방 배송 상자 로드 포트에 대한 기계적 인터페이스 사양
E16300 - SEMI E163 - 특별히 지정된 영역 내에서 레티클 및 기타 극도로 정전기에 민감한(EES) 항목 취급 가이드
E16300 - SEMI E163 - 특별 사양에 따른 Eria의 레치크루 およびその他の静電気超敏感性(EES:EXTREMELY ELECTROSTATIC SENSITIVE)
E16400 - SEMI E164 - EDA 공통 메타데이터 사양
SEMI E164 - EDA 공통 메타데이터 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E16500 - SEMI E165 - 전용 교육 장비를 사용할 수 없는 경우 종합 장비 교육 시스템 가이드
E16600 - SEMI E166 - 450 mm크라스타모쥬르・인타페스의 사양
SEMI E166 - 450 mm크라스타모쥬르・인타페스의 사양 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
E16600 - SEMI E166 - 450mm 클러스터 모듈 인터페이스 사양: 기계적 인터페이스 및 전송 표준
E16700 - SEMI E167 - 장비 에너지 절약 모드 통신(EESM) 사양
SEMI E167 - 장비 에너지 절약 모드 통신(EESM) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E16800 - SEMI E168 - 제품 시간 측정 사양
SEMI E168 - 제품 시간 측정 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E16900 - SEMI E169 - 장비 정보 시스템 보안 가이드
SEMI E169 - 장비 정보 시스템 보안 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E16900 - SEMI E169 - 보안 시스템 보안 유지 관리 가이드
SEMI E169 - 보안 시스템 보안 유지 관리 가이드 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
E17000 - SEMI E170 - 안전한 레시피 관리 시스템(SFORMS) 기반 사양
SEMI E170 - 안전한 레시피 관리 시스템(SFORMS) 기반 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E17100 - SEMI E171 - PCL(Predictive Carrier Logistics) 사양
SEMI E171 - PCL(Predictive Carrier Logistics) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
E17200 - SEMI E172 - SEDD(SECS 장비 데이터 사전) 사양
SEMI E172 - SEDD(SECS 장비 데이터 사전) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
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